![[반도체 공정] 박막 공정, 박막 공정 장비](https://img1.daumcdn.net/thumb/R750x0/?scode=mtistory2&fname=https%3A%2F%2Fblog.kakaocdn.net%2Fdn%2Fca1guw%2FbtsHl8QrgeI%2FM2bKVnOw4A846nNdrKMkk1%2Fimg.png)
Semiconductor/Semiconductor Fabrication2024. 5. 13. 00:02[반도체 공정] 박막 공정, 박막 공정 장비
안녕하세요.안녕하세요 이번 포스트부에서는 반도체 공정중 웨이퍼에 일정한 두께의 필름을 씌우는 과정인 박막 공정 (Thin Film Process)에 대해 알아보겠습니다.0.반도체 8대 공정https://semicircuit.tistory.com/1441.웨이퍼 제조, 웨이퍼 제조 장비https://semicircuit.tistory.com/172. 박막 공정, 박막 공정 장비https://semicircuit.tistory.com/483. 패키징 공정, 패키징 장비https://semicircuit.tistory.com/524. 이온 주입 공정, 이온 주입 장비https://semicircuit.tistory.com/535. 플라즈마 공정, 플라즈마 장비https://semicircuit.tistory...